3D光学轮廓仪

型号：S-neox 3D Optical Profiler

简介：

  3D光学轮廓仪S neox将共聚焦、干涉和多焦面叠加技术融合于一身，测量头内无运动部件。设备检测样品最大尺寸150mm×150mm，共聚焦模式横向分辨率可达0.09μm，最大光滑表面测量斜率达70°，共聚焦帧速率达12.5fps，扫描速率0.5-320 mm/s，NA（数值孔径）0.8，光学分辨率0.15mm；干涉模式下Z轴分辨率＜1nm，扫描速率3-18mm/s，NA（数值孔径）0.55。加入测量范围，测量精度，如XY平面，Z轴等）；